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详细光盘目录如下:
2-BG23521 玻璃衬底上可动硅微机械结构集成化的制作方法
3-BG23521 一种复合式机械电键
4-BG23521 工程机械的位置确认方法与位置显示系统以及工程机械
5-BG23521 一种微电子机械系统圆片级真空封装及倒装焊方法

1-BG23521 面向多用户的键合-深刻蚀释放微电子机械加工方法
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