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薄膜晶体管,光学元件类专题技术光盘》

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[5-BG84657]  薄膜晶体管的制造方法、电光学装置和电子仪器

[技术摘要]本发明的目的是提供一种通过简易且廉价的工序以亚微数量级的精度形成薄膜晶体管用的栅电极和半导体膜的技术。本发明提供的薄膜晶体管的制造方法,包括半导体膜薄膜的形成方法和/或栅电极的形成方法,其中半导体膜薄膜的形成方法包括:在基板上配置包含半导体材料的液滴(14)的工序;使液滴干燥,通过在该液滴的至少周边部析出半导体材料来形成半导体膜(16)的工序,而栅电极的形成方法包括:配置含导电性材料的液滴的工序;使液滴干燥,通过在该液滴的至少周边部析出导电性材料来形成栅电极的工序。

6-BG84657 薄膜晶体管、电光学装置、以及电子仪器
7-BG84657 监控纳米晶体薄膜表面结构与薄膜厚度的光学方法
8-BG84657 晶体管、其制造方法及电光学装置用基板
9-BG84657 薄膜晶体管的制造方法、电光学装置以及电子机器
10-BG84657 硫化镓钡单晶体及其生长方法及其*非线性光学器件
1-BG84657 光学制版用的氟化物晶体透镜的坯体
2-BG84657 光学器件及光学晶体的制造方法
3-BG84657 制造光子晶体和光学元件的方法和设备
4-BG84657 来自立方体材料的较佳晶体取向光学元件
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