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 ◆氧化锌,薄膜

氧化锌,薄膜类技术光盘》

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[5-BG176036]  改进的电化学沉积工艺制备单一c轴取向氧化锌薄膜方法

[技术摘要]本发明涉及一种改进的电化学沉积工艺制备单一c轴取向ZnO薄膜方法,其特征在于采用电化学预处理过程与恒电流沉积相结合的方法,在经预处理的衬底表面形成一晶柱尺寸小的ZnO籽晶层,使后续沉积ZnO薄膜具有单一c轴生长特性。具体包括电沉积前驱液的制备、衬底清洗处理以及薄膜生长三大步,最后薄膜生长采用电化学沉积系统。所制备的ZnO膜层具有单一c轴取向,结晶程度高,而且在可见光区具有很高的透过率,可用作薄膜太阳电池的窗口层、以及压电、光电、气敏等多种领域。本方法成本低廉,无需真空环境或使用有机物和高温加热设备,适合于大面积、规模化薄膜材料制备。

6 200810058405 氧化锌与铝酸锌复合纳米管及阵列的制备方法
7 200810153801 低温水热法合成氧化锌纳米管阵列的方法
8 200810010342 一种锌-氧化锌复合纳米结构的制备方法
9 200910077130 一种氧化锌纳米线阵列的制备方法
10 200910030370 利用氧化锌量子点进行免疫测定的方法
11 201010127038 基于氧化锌纳米线的全光开关的制备方法及全光开关
12 200910116427 尖锐程度可控的氧化锌纳米锥阵列及其制备方法

1 200610104994 自发电电化学法生产氧化锌的工艺
2 200810033868 氧化锌阀片粉体混合均匀性的电化学检测方法
3 200410008584 氧化锌膜的处理方法和使用它的光电元件的制造方法
4 200510017068 用电化学沉积制备锰掺杂的氧化锌薄膜和纳米柱的方法
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