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自润滑,表面自润滑类专题技术光盘》

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[5-BG85847]  单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜的方法

[技术摘要]一种单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜的方法,将表面经过处理的单晶硅片作为基底材料,在其表面采用自组装方法制备巯基硅烷,然后用溶胶-凝胶法在其表面制备含有稀土元素的纳米薄膜。首先将单晶硅片放入王水中进行预处理,清洗后置入羟基化溶液在室温下进行处理,然后再浸入巯基硅烷溶液中,静置6~8小时后取出,冲洗后用氮气吹干置于配制好的溶胶溶液中静置,提拉,然后干燥,或者重复上述操作制备多层薄膜;把覆有复合薄膜的单晶硅片放入马弗炉保温,缓慢升温至500℃,在炉内自然冷却至室温即可得到稀土纳米薄膜。本发明工艺方法简单,可以将摩擦系数从无膜时的0.8降低到0.1,具有十分明显的减摩作用。

6-BG85847 玻璃基片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜的方法1-BG85847 自润滑表面复合材料超声波制备工艺
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